- wafer patterning
- wafer patterning MH Halbleiterscheibenstrukturierung f
English-German dictionary of Electrical Engineering and Electronics. 2013.
wafer patterning
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Wafer (electronics) — Polished 12 and 6 silicon wafers. The flat cut into the right wafer indicates its doping and crystallographic orientation (see below) … Wikipedia
wafer microrelief patterning — plokštelės mikroreljefo sudarymas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. wafer microrelief patterning vok. Waferstrukturierung, f rus. образование микрорельефа на поверхности пластины, n pranc. définition de la tranche, f … Radioelektronikos terminų žodynas
Multiple patterning — is a class of technologies developed for photolithography to enhance the feature density. The simplest case of multiple patterning is double patterning, where a conventional lithography process is enhanced to produce double the expected number of … Wikipedia
Nanoimprint lithography — is a method of fabricating nanometer scale patterns. It is a simple nanolithography process with low cost, high throughput and high resolution. It creates patterns by mechanical deformation of imprint resist and subsequent processes. The imprint… … Wikipedia
Microelectromechanical systems — (MEMS) (also written as micro electro mechanical, MicroElectroMechanical or microelectronic and microelectromechanical systems) is the technology of very small mechanical devices driven by electricity; it merges at the nano scale into… … Wikipedia
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Microfabrication — Synthetic detail of a micromanufactured integrated circuit through four layers of planarized copper interconnect, down to the polysilicon (pink), wells (greyish) and substrate (green) Microfabrication is the term that describes processes of… … Wikipedia
Immersion lithography — is a photolithography resolution enhancement technique that replaces the usual air gap between the final lens and the wafer surface with a liquid medium that has a refractive index greater than one. The resolution is increased by a factor equal… … Wikipedia
Elektronenstrahllithographie — Die Photolithographie bzw. Fotolithografie ist ein lithografisches Reproduktionsverfahren, bei dem mittels Belichtung Muster auf Materialien aufgebracht werden. Sie ist in der Drucktechnik und der Halbleitertechnik von Bedeutung.… … Deutsch Wikipedia
Fotolithographie — Die Photolithographie bzw. Fotolithografie ist ein lithografisches Reproduktionsverfahren, bei dem mittels Belichtung Muster auf Materialien aufgebracht werden. Sie ist in der Drucktechnik und der Halbleitertechnik von Bedeutung.… … Deutsch Wikipedia
Immersions-Lithografie — Die Photolithographie bzw. Fotolithografie ist ein lithografisches Reproduktionsverfahren, bei dem mittels Belichtung Muster auf Materialien aufgebracht werden. Sie ist in der Drucktechnik und der Halbleitertechnik von Bedeutung.… … Deutsch Wikipedia
